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ZoomSurf 3D est un microscope sans contact, versatile et complètement automatisé, conçu pour la recherche et les laboratoires industriels

L'option MEMS: Solution pour la caractérisation des micro-dispositifs.

- Résolution sub-nanométrique:
ZoomSurf 3D apporte une nouvelle dimension de performance pour la mesure 3D sans contact avec une réslution verticale infèrieure à 0.1 nm.

- Des résultats en quelques secondes:
Rapide, précis et simple d'utilisation, ZoomSurf 3D vous procure des informations essentielles pour des contrôle rapide de vos procédés.

- Versatile:
Tous les types de matèriaux peuvent être mesurés sans difficulté.

- Automatisation:
Une complète motorisation, ainsi qu'un autofocus et des raccords de champs d'images numériques, permettent une utilisation simplifiée.

- Mesure sans contact:
Toutes les mesures sont non-destructive et ne nécessitent aucune préparation d'échantillon.

- Stabilité du système:
ZoomSurf 3D apporte une métrologie de grande stabilité grâce à sa conception, comportant des systèmes anti-vibrations. L'instrument est ainsi, isolé de toute vibration externe.

- Puissant logiciel de traitement:
FOGALE 3D est un logiciel intuitif, interactif et métrologiquement puissant, permettant un grand éventail d'analyse de données.

- Etendue de mesure : 400 µm
- Résolution verticale: 0,1 nm
- Résolution latérale: de 0,3 à 4,7 µm
- Digitalisation plan xy: 782 x 582 pixels
- Taille Pixel:8.3x8.3 µm²
- Zooms variables en continu avec 5 positions indexées : 0.35x, 0.5x, 0.8x, 1.0x et 1.6x, répétable à 0.2%
- Source de lumière: LED blanche et monochromatique interchangeables par logiciel et intensité régable par logiciel
- Déplacement: Table de translation XYZ motorisée
- Vidéo : Ecran 17''
- Station de travail: PC, 512 Mo RAM, CD R/W, lecteur de disquettes et écran plat LCD 17 pouces
- Logiciel: FOGALE 3D Pilot fonctionnant sous Microsoft Windows NT2000
Complément d'informations :
- Vibrométrie interférométrique continue et stroboscopique
- 3D measurement of micromechanical devices vibration mode shapes by stroboscopic microscopic interferometry
- 3D Full field dynamical characterization of micromechanical devices by stroboscopic white light scanning interferometry
- Mesures 3D de topographies et de vibrations à l’échelle (sub)micrométrique par microscopie optique interférométrique

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