Rubrique : Electronique, électrique (composants, appareils de mesure, systèmes) > Systèmes de tests et de mesures pour semiconducteurs       Rubrique, Rubrique:

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Cleveland, Ohio, Avril 2005 * * * Keithley instruments, l'un des leaders mondiaux pour les solutions de mesures dans les domaines émergeants annonce un nouveau système de test de fiabilité des semi-conducteurs, le S510. Ce système autorise des taux de comptage élevés par voie. C'est aussi un appareil du type "clé en main" pour tester la fiabilité et la modélisation des durées de vie des processus ULSI CMOS les plus avancés du monde au noeud de 65 nm et au-delà. Il assure un haut degré de fiabilité de test au niveau du chip (WLR) tout en conservant la cadence de mesure et une grande souplesse, ce qui diminue le temps d'évaluation de la fiabilité et de modélisation de la durée de vie. En définitive, ces gains de temps contribuent à réduire la durée nécessaire avant la commercialisation des projets pendant de la phase de développement et de qualification. Le système S510 peut aussi être utilisé pour la surveillance WLR en production ou en laboratoire comme un système de test paramétrique.

Entièrement automatisé, ce système de test de fiabilité multivoie en parallèle est capable d'effectuer des comptages selon une échelle programmable sur un nombre de 20 à 72 voies. Il est doté en outre, d'une voie effort/mesure indépendante pour chaque structure et permet des mesures simultanées sur toutes les voies. Le S510 peut ainsi tester des composants multiples simultanément sur un chip en association avec un dispositif de capteurs semi-automatique ou entièrement automatisé.

Une nouvelle percée réalisée

Du fait que la géométrie d'un composant se rétrécit lorsqu'on se trouve en dessous des 90 nm, les nouveaux matériaux, structures et processus modifient l'évolution de la durée de vie du composant. En particulier, une instabilité de la température de polarisation négative (NBTI) et le claquage du diélectrique en fonction du temps (TDDB) sont devenus des points très critiques au niveau du cycle de développement. Les nouveaux modèles pour les tests NBTI et TDDB doivent pouvoir être développés aussi rapidement que possible au cours du cycle. Pour atteindre des cycles de développement plus courts, les mesures des tests NBTI et TDDB se déplacent sur le chip à tester, éliminant ainsi les tests conventionnels très consommateurs de temps. Le S510 accélère le développement des modèles de durée de vie en automatisant des taux de comptage élevés en parallèle, pendant l'exécution du test de fiabilité sur le chip dans le but d'apporter dans les meilleurs délais, les données statistiques émanant des échantillons.

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