ISARA : La machine à mesurer 3D la plus précise du marché – 30nm
ISARA offre une précision volumétrique de 30 nm, pour une capacité de mesure de 100 x 100 x 40 mm. ISARA est conçue selon quelques principes de design très importants : principe d’abbe, découplage des parties « métrologie » et « bâti », utilisation de Zerodur® et d’Invar® pour minimiser les dérives thermiques, boucliers thermiques, table en V, compensation gravitationnelle, précision de positionnement et étalonnage en utilisant la machine elle-même.
