Les guidages à air préchargé au vide créent simultanément une force d’attraction et de répulsion. En ajustant les niveaux de vide et de pression on peut optimiser précisément la hauteur de vol et la raideur. Ce réglage peut être utilisé pour focaliser, ajuster et réaliser un réglage vertical nanométrique. Disponibles en matériau poreux, graphite, alumine et carbure de silicium, ils associent tous les avantages du guidage à air standard et ceux des matériaux poreux.
